极紫外光源是什么东西?

极紫外光源是一种波长极短的光源，波长范围在10到121纳米之间。这种光源能量极高，可以电离空气中的分子，因此必须在真空中使用。极紫外光源主要用于半导体制造的光刻工艺，能够刻画出更精细的电路图案。科学家通过激光轰击靶材或等离子体放电等方式产生极紫外光。这种光源技术难度大，成本极高，是现代芯片制造的关键设备之一。

极紫外光源的应用

极紫外光源在半导体行业作用重大，可以生产7纳米以下制程的芯片。这种光源能产生13.5纳米波长的光，精度远高于传统光源。除了芯片制造，极紫外光源还用于高能物理研究、天文观测等领域。由于技术门槛高，全球只有少数国家掌握极紫外光源的生产技术。未来这种光源有望在量子计算、生物医药等领域发挥更大作用。