时间:01-20人气:14作者:耶稣爱人
目前能生产光刻机的国家很少,荷兰的阿斯麦公司是市场主导者,产品覆盖最先进的极紫外光刻机。日本尼康和佳能也能制造深紫外光刻机,但技术稍落后。中国上海微电子正在研发28纳米光刻机,已取得部分突破。韩国和德国也有企业参与相关零部件生产,但整机能力有限。
光刻机制造难点
光刻机涉及上万个精密零件,镜头精度需达到纳米级。荷兰阿斯麦垄断了光源技术,德国蔡司提供核心镜头。日本企业在光学材料领域占优势。中国正在加速国产化,但高端光刻机仍依赖进口。光刻机研发周期长达十年,需要持续投入大量资金和技术积累。
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