高端溅射靶材是什么意思?

高端溅射靶材是用于物理气相沉积的高纯度材料，主要制造芯片、显示器和太阳能电池。这类靶材纯度要求极高，一般达到99.999%以上，杂质少才能保证薄膜质量。常见材料有金属靶（铜、铝）和陶瓷靶（氧化铟锡），形状多为圆形或矩形。高端靶材需要均匀的晶粒结构和致密性，确保溅射时稳定释放原子。

高端溅射靶材的应用

高端溅射靶材广泛应用于半导体和光伏行业。例如，在芯片制造中，铜靶用于互连线路；ITO靶则用于触摸屏导电层。靶材性能直接影响产品良率，因此价格昂贵，单块靶材价值可达数十万元。使用过程中，靶材表面会形成凹坑，需要定期更换。高端靶材的供应商包括日本东曹和德国贺利氏，技术门槛高。