时间:01-18人气:15作者:宇宙帅王子
12寸晶圆厂主要生产纳米芯片,工艺节点从7纳米到5纳米不等。一条生产线每天能处理上万片晶圆,每片晶圆可切割出数百个芯片。晶圆厂需要高精度光刻机、刻蚀设备和洁净车间,环境要求极高。芯片制造涉及上百道工序,光刻环节决定芯片性能。12寸晶圆厂投资巨大,动辄数百亿元,是半导体产业的核心设施。
晶圆厂的关键设备
晶圆厂依赖进口光刻机,一台设备价值上亿元。刻蚀机用于雕刻电路线条,精度达到纳米级。清洗设备确保晶圆表面无杂质,检测设备负责芯片质量把关。晶圆厂需24小时运转,电力消耗惊人,每小时耗电数万千瓦。厂房恒温恒湿,空气过滤系统比手术室还严格。这些设备共同保障芯片良率达到90%以上。
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