低温等离子和非平衡等离子的区别?

低温等离子和非平衡等离子都是等离子体状态，但区别在于能量分布和温度特性。低温等离子整体温度接近室温，而非平衡等离子中电子温度高（上万度），而离子和中性粒子温度低。

区别

低温等离子：整体温度较低，一般在几十到几百摄氏度，适合处理对热敏感的材料，如塑料、生物组织。能量分布较均匀，电子和粒子温度差距小，多用于表面消毒、材料改性等领域。

非平衡等离子：电子温度极高（1万到10万摄氏度），而离子和中性粒子温度接近室温，能量分布极不均匀。常用于高精度加工，如半导体刻蚀、薄膜沉积，能精准控制反应而不损伤基底材料。